Universal-300是我国首台进入大生产线的12”CMP设备,该机型技术含量高、性能稳定,适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究。

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Universal-300是我国首台进入大生产线的12”CMP设备,该机型技术含量高、性能稳定,适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究。
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